Optika dynamického skenovacího optického systému: 1 ks čočky s malým zaostřením, 1–2 ks čočky s zaostřením, galvanické zrcadlo. Celá optická čočka tvoří funkci expanze paprsku, zaostřování, vychýlení paprsku a skenování.
Rozšiřující část je negativní čočka, tj. čočka s malým zaostřením, která realizuje rozšiřování paprsku a pohyblivý zoom, zaostřovací čočka se skládá ze skupiny pozitivních čoček. Galvové zrcadlo je v galvanometrickém systému zrcadlem.
(1) Optimalizace konstrukce čočky: Optimální poměr průměru k tloušťce
(2) Prahová hodnota poškození čočky: >30 J/cm2 10 ns
(3) Povlak s ultra nízkou absorpcí, míra absorpce: <20 ppm
(4) Poměr tloušťky galvanometru k průměru: 1:35
(5) Přesnost povrchu čočky: <= λ/5
Post-objektivní čočka
Maximální vstupní zornice (mm) | Průměr optiky 1 (mm) | Průměr optiky 2 (mm) | Průměr optiky 3 (mm) | Skenovací pole (mm) | Jasná clona skeneru (mm) | Vlnová délka |
8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 μm |
12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030–1090 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Reflektorové zrcadlo
Popis dílu | Průměr (mm) | Tloušťka (mm) | Materiál | Povlak |
Křemíkový reflektor | 25,4 | 3 | Křemík | HR@10.6um,Úhel záběru: 45° |
Křemíkový reflektor | 30 | 4 | Křemík | HR@10.6um,Úhel záběru: 45° |
Vláknový reflektor | 25,4 | 6.35 | Tavený oxid křemičitý | HR@1030-1090nm, úhel záběru: 45° |
Vláknový reflektor | 30 | 5 | Tavený oxid křemičitý | HR@1030-1090nm, úhel záběru: 45° |
Vláknový reflektor | 50 | 10 | Tavený oxid křemičitý | HR@1030-1090nm, úhel záběru: 45° |
532 Reflektor | 25,4 | 6 | Tavený oxid křemičitý | HR@515-540nm/532nm, úhel záběru: 45° |
532 Reflektor | 25,4 | 6.35 | Tavený oxid křemičitý | HR@515-540nm/532nm, úhel záběru: 45° |
532 Reflektor | 30 | 5 | Tavený oxid křemičitý | HR@515-540nm/532nm, úhel záběru: 45° |
532 Reflektor | 50 | 10 | Tavený oxid křemičitý | HR@515-540nm/532nm, úhel záběru: 45° |
355 Reflektor | 25,4 | 6 | Tavený oxid křemičitý | HR při 355 nm a 433 nm, úhel záběru: 45° |
355 Reflektor | 25,4 | 6.35 | Tavený oxid křemičitý | HR při 355 nm a 433 nm, úhel záběru: 45° |
355 Reflektor | 25,4 | 10 | Tavený oxid křemičitý | HR při 355 nm a 433 nm, úhel záběru: 45° |
355 Reflektor | 30 | 5 | Tavený oxid křemičitý | HR při 355 nm a 433 nm, úhel záběru: 45° |
Galvo zrcadlo
Popis dílu | Maximální vstupní zornice (mm) | Materiál | Povlak | Vlnová délka |
55 mm D * 35 mm Š * 3,5 mm V-X 62 mm D * 43 mm Š * 3,5 mm V-Y | 30 | Křemík | MMR@10.6um | 10,6 μm |
55 mm D * 35 mm Š * 3,5 mm V-X 62 mm D * 43 mm Š * 3,5 mm V-Y | 30 | Tavený oxid křemičitý | HR při 1030–1090 nm | 1030–1090 nm |
55 mm D * 35 mm Š * 3,5 mm V-X 62 mm D * 43 mm Š * 3,5 mm V-Y | 30 | Tavený oxid křemičitý | HR při 532 nm | 532 nm |
55 mm D * 35 mm Š * 3,5 mm V-X 62 mm D * 43 mm Š * 3,5 mm V-Y | 30 | Tavený oxid křemičitý | HR při 355 nm | 355 nm |
Ochranná čočka
Průměr (mm) | Tloušťka (mm) | Materiál | Povlak |
75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x64 | 2,5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |